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公司基本资料信息
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・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 最大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
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名称 |
质量流量计 |
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型号 |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
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全标度流量(g/min) |
0.02/0.05/0.1 |
0.2/0.5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
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检测控制范围 |
5〜100% F.S. |
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对象液体种类 *1 |
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
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液体粘度 *2 |
最大值. 0.1 Pa·s (100cp) |
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精度 *3 |
±1% F.S. |
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直线性 *3 |
±0.5% F.S. |
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重复性 *3 |
±0.5% F.S. |
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响应精度 |
3秒以内 (T98) |
2秒以内 (T98) |
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使用环境温度 *4 |
5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保) |
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温度影響 Span |
±0.1%F.S./℃ 最大值±1% |
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工作差压值值 *5 |
最大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo 控制阀) |
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耐压 |
10MPa (视为流量计) |
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压力損失 |
最大值. 500Pa |
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流量设定信号 |
模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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流量输出信号 |
模拟：0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
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驱动电源 |
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA |
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外部泄漏规格 |
5×10-12Pa·m3/s (He) |
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接液部材质 |
SUS316L, Ni |
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标准接头 |
1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 |
1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 |
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